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在半导体制造中因其高纯度、高温稳定性和耐化学腐蚀性能而被广泛应用。配合内管用于化学气相沉积(CVD)及其增强版(PECVD),以供进气及测温。在这些过程中,石英外管提供了一个纯净、稳定的环境,防止杂质污染,是半导体制造过程中不可或缺的重要材料、/p>
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