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型号
MW-1070微波等离子设备—?0kw品牌
稳正科技产地
四川样本
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生长台尺寸：φ100mm
控制方式：触摸屏控制，PLC工艺菜单运行（手动或自动（/p>
微波电源?nbsp;MUEGGE 10KW 2.45GHz
真空泵：Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泴/p>
流量计：日本KOFLOC
H2?000sccm 、CH4(50sccm)、O2(10sccm)、N2?0sccm（/p>
腔体冷却方式：水冶/p>
测温：红外测温仪300-1400ℂ/p>
机台尺寸?215mm（长?1114mm（宽?2000mm（高（/p>
供电?80V 三相五线
能耗：16kw
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