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生长台尺寸:φ70mm 可同时生?mm*7mm单晶45粑/p>
10mm*10mm单晶21粑/p>
控制方式:触摸屏控制,PLC工艺菜单运行(手动或自动(/p>
微波电源?nbsp;MUEGGE 6KW 2.45GHz
真空泵:Leybold D16C / KYKY RV-4三相旋片泴/p>
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