参考价栻/p>面议
型号
W-150A/B-6K 微波等离子化学气相沉积系绞/span>品牌
铂世先/span>产地
上海样本
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| 系统特点9/span> |
| ·采用方位换向对称方式微波耦合,来提高微波的均匀?/span> |
| ·稳定沉积面积20cm2 |
| ·**功率达到6KW |
| ·使用纯净的石英窗 |
| ·采用不锈钢反应腔,能耐高?/span> |
| 设备的优势: |
| ·反应可控,能长时间稳定工作在6KW |
| ·所有电子设备中采用微波,没有电极放电,没有金属污染 |
| ·高功率高密度等离子体稳定在离石英窗一定位置,减少硅的析出 |
| ·参照C/H/O比例表,对反应物有更大的选择余地 |
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