看了微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系 — C型的用户又看亅/p>
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微波等离子化学气相沉积(MPCVD)系?nbsp; —?nbsp;C垊/span> 一款先进的微波等离子体化学气相沉积装置。微波输入采用下馈的方式,为腔体结构的优化提供了可能性、/span> 该装置可以再相对大面积的衬底上进行金刚石单晶和多晶生长、/span> |
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