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关键应用９/strong>
栅极预清洖/span>
RCA清洗
光阻去除
氧化硅腐蚀
氮化硅腐蚀
CoSix选择性腐蚀
产品优势９/strong>
1、占地面积小，将外部unit 集成在设备内部来减小整体的占地面积；
2、高产能，优化的Marangoni Dryer：/span>
3、重新设计槽体流场，较好的清洗效果和均一?
4、有机清洗，控片回收：/span>
5、机台将back conveyor集成在机台的后上方，节省了空 ：/span>
6、机台采用PLC和PC的结合控制方式， 系统可靠高；
7、优化机台内部流场设计，带来更好的articleperformance
8、破片侦测系统，防止二次伤害：/span>
暂无数据
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