核心技术：

超高膜厚匀性控制工艺与设备技术；

超低温成膜工艺与对应之设备技术；

**射频等离子体清洁工艺：�/p>

简介： 九大**� 客制化精密零件、自主研发�?*远端监控、双变频电控系统、人机触控界面、HOT N2功能模式、视觉灯效管理�?秒不断电UPS系统、关键数据趋势图 先进性： 干泵结构的优化设计以降低能耗； 零件采用特殊涂层，增加抗腐蚀能力� 新型冷却结构及内建热氮气吹扫功能模式

核心技术：

超高膜厚匀性控制工艺与设备技术；

超低温成膜工艺与对应之设备技术；

**射频等离子体清洁工艺：�/p>

先进性：

自有IP特殊Pre-treatment电极设计：�/p>

保证立体结构的完整包覆是借由设计TS Distance的优化，**的shielding box设计以及工艺参数的优化来达成：�/p>

独特的cathode设计特点

简介： 九大**� 客制化精密零件、自主研发�?*远端监控、双变频电控系统、人机触控界面、HOT N2功能模式、视觉灯效管理�?秒不断电UPS系统、关键数据趋势图 先进性： 干泵结构的优化设计以降低能耗； 零件采用特殊涂层，增加抗腐蚀能力� 新型冷却结构及内建热氮气吹扫功能模式