磨抛盘直径：
-主轴转速：
-单位能耗：
-装机功率（kw）：
-成品细度９/p>-
工作原理９/p>其他
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单面抛光朹/p>
TSP-610/810/910/1270/1500 series
该系列抛光机是以陶瓷盘为载具，通过贴蜡或无蜡吸附方式固定晶圆进行抛光的高精密单面抛光设备，可实现双轴、四轴同时加工，操作简便，兼容性强，稳定性高，抗腐蚀好，抛光头气缸加压主动旋转，可实现高转速高压力抛光，搭配不同抛光垫和抛光液，适用于各种半导体材料的抛光、/p>
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移动?/p>
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