非金属电热元件：
碳化硄/span>金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>±1ℂ/span>
最高温度：
1400ℂ/span>额定温度９/p>?300ℂ/span>
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一、产品特艱/strong>
这是一款定制可开启式CVD设备。该设备主要开启式加热炉、气路系统、反应管、智能控制系统、/span>
1、开启式加热炉：
加热炉膛采用超轻氧化铝纤维材料，配S型热电偶，单点控温；设备升降温控制灵活、加热炉可开启方便客户更换维修反应管
2、气路系统可精确控制3路气体按不同流量进行混合配比，另外单?路可通强腐蚀气体，配备吹扫气路、/span>
气路管路及阀门，精工件都采用316L材质、/span>
3、反应管组件
反应管组件使用耐高温刚玉管，内加刚玉管堵，两端密封法兰带水冷却系统，反应管尾部带反应物收集冷却装置。实验众产生的尾气经过冷却收集后再通过球阀排出、/span>
4、气体报警系绞/span>
配备有氢气报警器，氯气报警器、甲烷报警器。分别设?个检测点，报警后自动切断氢气、氯气和甲烷的供应，并发出警报、/span>
5 智能控制系统
采用智能PID模糊控制?0段可编程控制。具有超温和断偶报警功能、/span>
二、技术参?/strong>
**温度 |
1400ℂ/span> |
持续工作温度 |
?300ℂ/span> |
升温速率 |
?0?min |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
加热元件 |
硅碳棑/span> |
热电偵/span> |
S垊/span> |
控温方式 |
模糊PID控制和自整定调节，人工智能化30段可编程控制，具有超温和断偶报警功能、/span> |
加热总功玆/span> |
?KW |
加热区尺寷/span> |
300*130*160mm |
真空?/span> |
?pa |
设备尺寸 |
2100*600*1350mm |
设备重量 |
?50KG |
暂无数据
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