非金属电热元件:
硅钼棑/span>金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>±1ℂ/span>
最高温度:
1700ℂ/span>额定温度9/p>?600ℂ/span>
看了卷对卷连续走丝CVD沉积系统的用户又看了
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一、产品特艱/strong>
★该卷对接设备搭配左右收放卷仓、感应加热组件、加热炉、尾部过滤组件、气路组件、真空组件等:/span>
左端为放卷仓,由电机加上卷轴组件等部件组成,法兰上配?组截止阀控制的进气口1?,法兰上配有1个压力表,仓体上配有真空规和KF口;右端为收卷仓,由电机加上卷轴组件等部件组成, 法兰上配?组球阀控制的出气口,仓体上配有真空规和KF口,尾部配有过滤组件:/span>
感应加热组件由线圈、高频主风机组件组成;加热炉为三温区?00+200+200mm组成;前部为触摸屏操控界面;尾部过滤组件内置过滤挡片,方便清洗更换,同时尾部配有搅拌功能,防止尾部杂质淤积和堆积;气路为6路供气,其中4路混合一路进左法兰进气口1,一路预热后进左法兰进气?,另?路作为吹扫,进右腔体保护使用;真空组件由一台机械泵和一套真空泵组合而成:/span>
设备采用承重框架结合钣金包围形式。机架采用深灰色、门板等采用时尚橘纹白。设备简约又不乏稳重,更具备操作直观方便、控温精确等性能、/span>
二、技术参?/strong>
额定功率 |
45KW |
额定电压 |
380V |
工作持续温度 |
?600ℂ/span> |
推荐升温速率 |
1400℃以下≤10?min?400℃到 1600℃≤5?min?600℃以下≤2?min |
炉管尺寸 |
刚玉管?5mm×1600mm |
加热区长?/span> |
200mm+200mm+200mm |
感应加热机型叶/span> |
BTG45 |
热电偵/span> |
B 型热电偶 |
控温方式 |
模糊 PID 控制和自动整定调节,智能 30 段可编程控制 |
控温精度 |
±1ℂ/span> |
加热元件 |
硅钼棑/span> |
炉体尺寸 |
2915mm× 1535mm× 1455mm |
炉体净里/span> |
950KG |
暂无数据
后摩尔定律时代推动了碳基电子晶体管的快速发展?G通信和云计算促进了基于碳纳米管的场效应晶体管在电子设备中的应用。本文将重点关注碳基电子领域的最新研究热点,包括高频晶体管、生物医学传感器和制动器、脑朹/p>