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产品性能9/p>
应用于半导体行业LED、多用于MOCVD、HVPE(GaN工艺)废气处琅/p>
多级喷淋,使易溶于水或与配置溶液反应生成沉积的物质,以达到有毒腐蚀气体的回收,达标气体的安全排攽/p>
处理能力,科研型?0SLM,生产型?00/400-1500SLM
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