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等离子蚀刻机
等离子蚀刻机

参考价栻/p>面议

型号

等离子蚀刻机

品牌

北京杰能辽/span>

产地

北京

样本

暂无
北京杰能达机电设备有限公号/a>

高级会员

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生产啅/p>

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    利用定向的氟自由基束中短寿命且高活跃度的F-自由培/p>

    腐蚀率：200mm晶圆腐蚀率为3μm/min, 300mm晶圆腐蚀率为2.5μm/min

    腐蚀率受胶带材质限制，无胶带情况下可?μm/min

    TTV(总厚度变??00mm晶圆，硅的厚度从10μm减少?μm

    通过同步旋转和氟的方位角位移来调节氟自由基束的均匀?/p>

    可选脉冲等离子模式和直流等离子模式

    采用基于CF4的化学蚀刻用于含铜等金属的硅刻蚀

    具有可调真空区域的真空吸盘可处理100/150/200/300mm尺寸的晶圅/p>

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    image.png

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