控制方式9/p>其他
靶材材质9/p>-
靶材尺寸9/p>2英寸
样品仓尺寸:
-样品台尺寸:
-溅射气体9/p>-
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主要特点:模块设计,易于安装体积小巧;自动化高,一键启动运行;功能性强,支持多种靶材镀膜;稳定性好,高效成膜质量可靠、/p>
真空室尺?mm):?14×H128:/p>
溅射靶材尺寸(mm)?英寸(厚度?mm):/p>
样品台:?个?0mm样品台和7个?3mm 扫描电镜样品杯,电动旋转、/p>

暂无数据
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