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| 适用工件９br style="box-sizing: border-box;"/>(Applicable parts) | 8?12寸，φ200/300mm,厚度0.5-1.00mm晶圆牆br style="box-sizing: border-box;"/>(8/12 Inches,φ200/300mm,thickness:0.5-1mm Wafer) |
| 批量产能９br style="box-sizing: border-box;"/>(Capacity) | Max:25pcs/min |
| 工艺流程９br style="box-sizing: border-box;"/>(Procedure flow) | LOAD(手动/Manual)→涤纶正反面滚刷(Polyester Bushig both sides)→PVA正反面滚?PVC Bushing both sides→装?Insert to cassette)→超声清洖br style="box-sizing: border-box;"/>(Ultrasonic Clean)→UNLOAD(手动/Manual) |
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