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技术参?nbsp;
| 可磨削材斘/strong> | si、csi ... ... |
| 磨削方式 | 立轴切入式磨剉/strong> |
| 可兼容加工晶圆尺寸（英寸（/strong> | Φ4,5,6,8 |
| 设备尺寸(mm)?nbsp;长×宽×高） | 2750×1200×2000 |
| 设备重量(KG) | ?200 |
| 主轴数量 | 2 |
| 晶圆内精?TTV)(um) | 3以下 |
| 晶圆间精?WTW)(um) | ±3以下 |
| 加工产能 | >25 |
暂无数据
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