型号：IBSH-1030

特点９�/span>

1、基板水平放置，垂直监控：�/span>

2、靶材左右移动，位置和速度可编程控制；

3、基板：12吋�? � 6吋�?：�/span>

4、靶材：两靶，三靶或四靶可更换；

5、多光路监控、�/span>

6、无膜厚分布修正松�/span>

工艺参数９�br/>

一，真空系绞�/span>

1、极限真空度�?.0×10-5Pa

2、抽�?0Pa所用时间：� 10 分钟

3、漏率： 3.0×10-5Pa m3/sec

二，控制精度

1、靶材旋转：0.005°

2、工件旋�?<1000RPM

3、编码器: 12000lines;480000Counts/rev

4、膜厚修正板�?.005°

5、挡松� position switch

三，光学监控系统OMS

1、波长范围：380nm�?650nm

2、光源稳定� :白光< 0.1%，激�?lt; 0.02%

3、波长分辨率: 白光0.2nm，激�?.1nm

4、波长准确度: 白光0.2nm ，激�?.1nm