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d)膜厚修正板:0.005° e)挡板: position switch 3)光学监控系统OMS a) 波长范围?80nm?650nm b) 光源稳定?nbsp;:白光< 0.1%,激?lt; 0.02% c) 波长分辨玆 白光0.2nm,激?.1nm d) 波长准确? 白光0.2nm ,激?.1nm |
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