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型号
250W射流等离孏/span>品牌
奋羽电子产地
四川样本
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版本9/span>
| 版本 | 工艺气体 | 羽流长度 | 羽流直径 |
| V1.0 | Ar、O2、压缩空氓/span> | 5mm | 0.9mm |
| V2.0 | Ar、O2、压缩空氓/span> | 5mm | 1mm |
| 宽幅 | Ar、O2、压缩空氓/span> |
无电极,无污染源,长寿命:/p>
等离子体不带电,不会对精密电路造成损坏:/p>
能在高气压下维持等离子体:/p>
有较高的电离和分解程度;
自偏压要求低:/p>
微波发生器稳定,易控制;高压源和发生器互相隔离,安全:/p>
半导体晶圆和集成电路制造(前、后道工序)中的等离子清洗设夆/p>
LCD显示屏的制造设夆/p>
太阳能电池生产的制造设夆/p>
各种无机材料,高分子材料,玻璃,金属等的等离子清洗设夆/p>

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