双光束激光干涉仪专门用于压电薄膜的蝴蝶曲线和纵向压电系数d33的测试、�br/>这是世界�?*台适合于从小尺寸薄膜到8英寸晶圆表征的双光束激光干涉仪、�br/>半自动的系统用于8"晶圆上的MEMS器件的压电性和电性相关性能的测试、�br/>大量样品测试的重复精度可�?%以上、�/p>

测试功能９�br/>机电大信号应变、极化、压电系数、小信号介电常数、�br/>疲劳和电性及机械性能可靠性、�/p>

样品测试９�br/>极化曲线和位移曲线、�br/>小信号电容及压电系数、�/p>

技术参数：
分辨率： �? pm（X晶向的石英）
测量范围�?pm- +/- 25nm
波长�?32.8nm
位移/应力测试�?gt;50Hz�?�?Hz分辨率，100mV�?0V（可选到200V（�br/>压电d33系数９�br/> 基电�?00mV�?0V�?mHz�?Hz），可选到200V
小信�?00mV�?0V�?kHz�?kHz（�br/>C-V测试９�br/> 基电�?00mV�?0V�?mHz�?Hz），可选到200V
小信�?00mV�?0V�?kHz�?kHz（�/p>