设备特点与技术指标：
1、机组组成：复合分子�?机械泵；
2、真空度９�br style="margin: 0px; padding: 0px;"/> A、设备真空度在分子泵启动�?00Hz后优�?*10^-3Pa;
B�?0分钟以内优于5*10^-5Pa;
C、极限真�?*10^-5Pa、�br style="margin: 0px; padding: 0px;"/> 3、机组特炸�
机组为可移位台式小车结构，能够满足不同位置排气的需要。机组配备预抽排气系统，可在分子泵不停止的状态下实现换工件、预抽真空、抽高真空的排气流程，缩短了排气时间，有效提高了工作效率、�/span>

机组配置:

1�?00�?600升水冷复合分子泵1台、�br style="margin: 0px; padding: 0px;"/> 2、抽�?2L/s机械�?台、�/span>

3�?0角阀一套、�/span>

4、高真空复合真空�?套�?包括电离规、电阻规)
5、直�?08mm*�?0mm�?50mm*�?00mm）真空室1套、�br style="margin: 0px; padding: 0px;"/> 6、带脚轮、围板及不锈钢台面的小车1套、�br style="margin: 0px; padding: 0px;"/> 7、水冷机1台、�/span>