参考价栻/p>面议
型号
Uα-1B 气体减压?/span>品牌
中科艾尔产地
北京样本
暂无流动方向9/p>其他
连接通道9/p>其他
驱动方式9/p>其他
输送物料:
-连接方式9/p>其他
材质9/p>其他
口径9/p>-
压力9/p>300psig
设计标准9/p>-
看了Uα-1B 气体减压器的用户又看亅/p>
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产品介绍 | |
Uα-1B 气体减压器专为超高纯气体,半导体级工艺气体设计,满足超大规模集成电路的使用要求、/span> | |
主要部件材料 | |
阀佒/span> | 316L(VIM+VAR(/span> |
膜片 | UNS N06022 |
阀钇/span> | 316L(VIM+VAR? UNS N10276 |
密封?/span> | PCTFE / PI |
手柄 | ABS |
阀盕/span> | 316L |
工作条件 | |
进口压力 | 300psig |
出口压力 | -25in Hg~0~30psig,30,60,100,150psig |
原压变动 | 1.3psig / 100psig |
工作温度 | -10 60ℂ/span> |
内漏玆/span> | 1×10-10Pa.m3/sec.He |
外漏玆/span> | 1×10-10Pa.m3/sec.He |
流量系数 | 1.1 |
内表面粗糙度 | Ra 0.1μm |
产品特点 | |
适用 VMB、VMP | |
提供 UNS N06022/UNS N10276 内部件选项 | |
每台减压器进行单独的压力测试、功能测试、氦质谱泄漏测试和颗粒物检浊/span> | |
内部无弹簧,内部死体积小,减少了颗粒物的存留 | |
束缚膜片结构,增加安全?/span> |
暂无数据