参考价栻/p>面议
型号
碳化硅（SiC）外延炉品牌
上海翱晶产地
上海样本
暂无非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
温控精度９/p>-
最高温度：
-额定温度９/p>-
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产品型号：EPIREVO S6
EPIREVO S6是日本株式会社东芝的子公司纽富莱（NuFlare）的主要产品之一。采用全自动化的单片双腔设计，利用垂直气流和高速旋转的生产工艺，将月产能提高到?800片以上的可能?-6英寸?0微米标准）。垂直腔体的设计以及高速旋转生长的原理可使产品全体缺陷控制?.01cm2（EDD）以内，清扫维护（PM）也达到了可连续生长2000微米以上，为目前碳化硅外延量产化?*设备。尚且，本外延炉也已经具备了简易更换配件即可对?英寸外延的可能。产能更大、质量更好、性价比更高是产品的设计宗旨、/p>
暂无数据
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