参考价栻/p>面议
型号
AW-QP系列单片式等离子去胶朹/span>品牌
奥威赡/span>产地
江苏样本
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设备用逓/p>
高性能的单片去胶(打胶),主要应用 4?? 英寸直径的半导体单片去胶、等离子表面清洗、扫底膜工艺等、/p>
主要应用领域包括:芯片制造、MEMS、太阳能电池、化合物产业(GaAs、GaN、GaP、InP、SiC 等)、光电产业等,主要应用工艺包括:去胶、可控光刻胶去除(刻蚀前扫底膜)、GaAs、InP 晶片去胶及扫底膜等、/p>
| 产品型号 | AW-QP600 |
| 外形尺寸(不含报警灯塔) | L1200×W1500×H1750(mm) |
| 反应仓材?/td> | 石英+6061铝合釐/td> |
| 等离子体发生?/td> | 频率13.56MHz,功率0-600W可调,自动阻抗匹酌/td> |
| 去胶圆片尺寸 | 4寸?寸?寷/td> |
| 去胶速率 | 300-1500A/min |
| 温度控制 | 30?60℃、? ℂ/td> |
| 产能及碎片率 | 单腔45?0?小时,≤1/1000 |
| 真空系统 | 油泵/干泵可选,进口气动角阀、充气阀,高精度真空讠/td> |
| 气路系统 | MFC质量流量计控?标准配置2?:5SLMO₂和1SLM N |
| 控制系统 | 触摸式工控机+PLC控制 |
| 备注 | 可按客户需求弹性设?多腔设计 |
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