产品简今�/h2>

性能**的质量流量控制器只需将流量保持在您的设定值。Alicat MC系列气体质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能快速实现稳定控制、�/span>

• 多功能：监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成、�/p>

• �?nbsp; 接：利用以太�?IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中、�/p>

• �?nbsp; 用：MC系列气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可为您的质量流量控制器构建IP66等级防护、�/p>

工作范围

型号	**满量程（N2标准（�/th>	*小满量程（N2标准（�/th>	**工作压力
Alicat MC系列高流野�/span>	5000 SLM	50 SLM	160 psi

性能指标

流量精度	±0.8% R.D and ±0.2% F.S �?nbsp;±0.4% R.D and ±0.2% F.S（用于≤500 SLM型号（�/span>
重复�?/span>	±(0.2% R.D + 0.02% F.S)
控制范围	0.01�?00%F.S
响应时间	<10 ms；与流量相关
温度精度	±0.75°C
压力精度	±0.5 %R.D（＞ 1 Atm�? ±0.07 PSIA（＜ 1Atm（�/span>
工作温度	�?0�?0°C
预热时间	<1 s

电气参数

电源	12�?4 V�?50 mA�?4V�?A�?4-30V;2A (如果配备4�?0 mA，则丹�/span>290 mA )
数字通讯	RS-232 � RS-485 � Modbus RTU (RS-232 / RS-485), Modbus TCP/IP, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, Profibus
模拟通讯	4�?0 mA� 0�? V�?�? V� 0�?0 V
电气接口	6 pin locking� 8 pin mini-DIN� 8 pin M12；DB-9；DB-15

机械参数

阀门类�?nbsp;	常闭阀（MFM无意义）
密封材质	FKM筈�br/>
基体材质	不锈钡�/span>

尺寸结构