磨抛盘直径:
-主轴转速:
-单位能耗:
-装机功率(kw):
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工作原理9/p>其他
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系统配置
系统类型:全自动化干燥/干燥晶圆尺寸:150mm?00mm工艺可行·EFEM:2-盒式,传输机器人中间机器亹/p>

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