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单温区PE-CVD系统品牌
科幂产地
安徽样本
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高性能射频电源.等离子体更稳定；
滑轨式结构能使整个反应腔室都处于辉光产生区；
可实现快速升温和降温功能；与传统CVD相比较，生长温度更低、/span>
| 项目 | 型号 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
| **温度 | 1150℃（短期（/span> | |
| 额定温度 | 1100ℂ/span> | |
| 推荐升温速率 | ?0?min | |
| 控制精度 | ±1ℂ/span> | |
| 炉管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
| 炉膛尺寸 | Φ80*220mm | |
| 加热区长?/span> | 220mm | |
| 恒温区长?/span> | 80mm | |
| 加热元件 | 优质国产电阻东/span> | |
| 额定功率 | 3KW | |
| 供气系统 | 三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制（/span> |
|
| 射频电源 | 射频功：5-500W：/span> 射频频：13.56MHz：/span> 匹配方式：自动匹酌/span> |
|
| 真空系统 | 双级旋片真空泵（可定制扩散泵 分子泵等（/span> | |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
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