国产全自动台阶仪 JS3000B，拥有高精度、高分解能力，搭配一体花岗岩结构，提供稳定可靠的重复性测量。JS2000B提供两个彩色摄像头对样品和针尖同时成像，可无畸变的观察样品区，方便定位特征区域，同时探针扫描时可实时观察扫描区域�?nbsp;

特点

量测精确、功能丰富、一体式集成、模块化设计、售后便捷、极高性价毓�/span>

应用范围

� 刻蚀、沉积和薄膜等厚度测野�/span>

� 薄膜多晶硅等粗糙度、翘曲度等材料表面参数测野�/span>

� 各式薄膜等应力测野�/span>

� 3D扫描成像

� 计划任务和多点扫揎�/span>

� 批量测试晶圆，批量处理数据等

系统组成

� EFEM（LP+ROBOT+ALINGER)

� JS300B

选配�?/span>

� 高度校准标样

� FFU模块

� 静电消除模块

� E84接口

技术参�?/span>

软件界面

扫描国�/span>

18nm样品

68um样品