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泽攸科技无掩膜光刻机是一种先进的光刻技术设备,它不需要使用传统的物理掩膜版来转移电路图形,而是通过计算机控制的高精度光束直接在感光材料上进行扫描曝光,形成所需的微细图形。目前在微电子制造、微纳加工、MEMS、LED、生物芯片等领域有广泛的应用、/span>
技术特炸/span>
纳米压电位移台拼接技?/span>
红光引导曝光,所见即所徖/span>
OPC修正算法优化图形质量
CCD相机逐场自动聚焦
灰度匀光技?/span>
光路远离结构国/span>

主要指标

应用案例



暂无数据
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