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定制-微波等离子体辅助原子层沉积系绞/span>品牌
毅睿/芯壹斸/span>产地
中国样本
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微波等离子体辅助原子层沉积系绞/span>

Description:
●微波频玆2.45±0.025 GHz
◎/span>微波功率:? KW连续可调
◎/span>可实 <+/-3% 的均匀沉积
◎/span>气体:SiH4,NH3, N2O, Ar, N2, CF4+/sub>O2...
◎/span>极限压力:?X10-3 Torr
◎/span>尺寸:8英寸晶圆
◎/span>用逓SiO2+/sub>SixNx...etc.,

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