非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>其他
温控精度9/p>-
最高温度:
-额定温度9/p>-
看了立式扩散炉的用户又看亅/p>
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超大规模集成电路制造设备,工艺时间短,生产效率高,具有出色的工艺性能达到**、/p>
应用领域
VLSI集成电路制速/p>
产品优势
◎晶??批次)150牆/p>
晶片高速搬送系统,实现高吞吐量
精密的热场控制,气体控制系统
工艺周期短,生产效率髗/p>
外形尺寸及重野/p>
外形尺寸(参?:4330mm*900mm*3305 mm(???
重量:2500Kg
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