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SDA系列半导佒/span>品牌
锐昇聚创产地
江苏样本
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| 项目 |
机型 | 单位 |
SDA50 |
SDVA70 |
抽气速率Pump speed?0/60HZ（/span> |
L/min |
700/833 |
1000/1200 |
|
m³/h |
42/50 |
60/72 |
||
极限压力 Ultimaate Pressure |
Torr |
7.5*10-3 |
||
mbar |
1*10-2 |
|||
Pa |
1 |
|||
马达 Motor |
额定功率 Rated power |
Kw |
2.2 |
2.2 |
底压功率 Ultimate Pressure Power |
Kw |
1.9 |
1.9 |
|
管路连接 Connnection |
入气?nbsp; Inlet |
DN40 |
DN40 |
|
出气?nbsp; Outlet |
DN25 |
DN25 |
||
*低流 Min.Flow |
L/Min |
|||
**压力 Max.Pressure |
kg/cm3 |
|||
压力 Pressure Dif. |
kg/cm3 |
|||
温度 Temp. |
ℂ/span> |
|||
接头 |
||||
氮气（选配?nbsp; N2 |
压力 Pressure |
Mpa |
0.05-0.2 |
|
流量 Flow |
slm |
6-10（sealing gas（/span> |
||
0-50（Dilute（/span> |
||||
接头 Connection |
Swagelok 1/4'' |
|||
尺寸 |
?? L*W*H |
mm |
||
重量 Weight |
Kg |
|||
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