功率（kw）：
-重量（kg）：
-规格外形（长*?高）９/p>-
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参数 |
圆片（圆棒） |
||
直径（mm（/p> |
76.2±0.3 |
100.0±0.3 |
125.2±0.3 |
长度（mm（/p> |
?0 |
?0 |
?0 |
轴向 |
X、Y、Z?6°Y?2°Y |
||
晶片厚度（mm（/p> |
0.35-1 |
||
基准边方吐/p> |
X、Y?12.2°Y |
||
基准边宽度（mm（/p> |
22.0±2.0 |
32.0±2.0 |
|
正面抛光 |
Ra?A |
||
背面研磨（μm（/p> |
0.2-4 |
||
平整度TTV（μm（/p> |
?0 |
||
PLTV?×5mm；LTV?μm（/p> |
?7% |
?5% |
?0% |
弯曲度（μm（/p> |
?0 |
?5 |
?0 |
倒角 |
倒角 |
||
极化 |
完全 |
||
居里温度（℃（/p> |
605.0±3.0 |
||
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