参考价栻/p>面议
型号
BRAVERY 3000 光调制反射晶圆检测系绞/span>品牌
微崇半导佒/span>产地
北京样本
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BRAVERY 3000
光调制反射晶圆检测系绞/p>
BRAVERY 3000 是具有巨大市场价值的新型晶圆缺陷检测设备,其采用光调制反射技术,可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速、内部检测,精准诊断与定位晶圆缺陷,该产品对?无图案晶圆均适用,可填补当前国内市场离子注入工艺非接触检测设备的国产化空白,实现晶圆注入质量特性检测量产化、/p>
产品特点
非接触非破坏?/p>
?无图案晶圆皆适用
可作为在线检测设夆/p>
无需测前与测后处理,超快检测速度
软件检测操作简協/p>
主要应用
各种离子注入及退火工艺的质量监控
刻蚀等工艺对晶圆损伤的质量监?/p>
产品优势
自研产品,可定制匕/p>
可自动生成wafer map等可视化数据
暂无数据