参考价栻/p>面议
型号
经济型台式磁控溅射系绞/span>品牌
重庆眺望产地
重庆样本
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主要特点
经济型台式溅射系绞/p>
可集??.5英寸共溅射靶
向上或向下溅尃/p>
沉积均匀?1-2.5% @ 3"(75mm)基片
选配load-lock预真空室
基片加热温度850℃℃,旋转速率0-40rpm,直流和射频偏压?0mmZ轴可调工作距离··真正的共焦沉积系统,满足单层和多层薄膜沉积应用
可集?路MFC气路,可进行反应溅射
计算机控制或半自动控刵/p>
高真空或超高真空
暂无数据