温控精度９/p>-
最高温度：
1100ℂ/span>额定温度９/p>-
非金属电热元件：
其他金属电热元件９/p>其他
烧结气氛９/p>其他
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HVPE生长系统是自主研发的一台功能强大，耐用，可靠的气相外延生长系统，适用于大尺寸、高质量商业化GaN的同?异质外延生产。内置新研发的控制系统和多温区加热系统，支持配方功能，方便工艺参数调用及储存，设备结构简单，操作方便，实用性强，能够满足大规模体块GaN的商业化生产需求、/p>
技术参?/span> |
|
生长工艺 |
HVPE泔span style="box-sizing: border-box; font-weight: bolder;"> |
产品类型 |
非标定制 |
加热方式 |
电阻式加?感应式加?/p> |
**温度 |
1100ℂ/p> |
恒温区尺寷/p> |
100mm |
控制方式 |
PLC集成控制 |
系统真空检漏漏玆/p> |
?.0×10-7 Pa.l/S |
冷却方式 |
循环水路系统 |
暂无数据
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