非金属电热元件:
其他金属电热元件9/p>其他
烧结气氛9/p>空气
温控精度9/p>±1ℂ/span>
最高温度:
1000ℂ/span>额定温度9/p>750ℂ/span>
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一?nbsp;设备名称、型号:MBF100-10型气相沉积炉
二?nbsp;技术指标与基本配置
2.1 额定温度9/span>750℃;
2.2 **温度9/span>1000℃;
2.3 加热区尺寸:770×770×300mm'/span>W×D×H);
2.4 有效尺寸9/span>640×640×250mm'/span>W×D×H);
2.5 外腔体材质:SUS310S:/span>
2.6 内胆材质:熔融石英;
2.7 产品尺寸9/span>Φ120:/span>
2.8 设备产能:每炉可放置16片基板;
2.9 **加热功率9/span>16kW:/span>
2.10 加热方式:底?/span>+四侧(五面加热):/span>
2.11 控温点数:底?/span>+侧面,共2点;
2.12 热偶类型9/span>K分度:/span>
2.13 升温速率9/span>≣/span>8?min:/span>
2.14 加热元件9/span>FEC陶瓷纤维加热器;
2.15 炉门开启方式:顶开门设计;
2.16 控温稳定度:±1℃;
2.17 控温仪表:进口温控仪,具月/span>PID自整定功能;
2.18 程序步数9/span>20?/span>:/span>
2.19 报警保护:超温、断偶等声光报警保护,并具有超温报警断电保护功能:/span>
2.20 表面温升:<35℃;
2.21 设备重量:约500kg:/span>
2.22 外形参考尺寸:1200×1200×1500mm'/span>W×D×H),实际尺寸?终产品为准;
2.23 设备外颜色:浅灰色、/span>
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