参考价栻/p>面议
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IFOX系列自动化光学晶圆检测设夆/span>品牌
大族半导佒/span>产地
广东样本
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主要特点9/span>
1、成像质野使用***的相机技术以实现超快速度且极小像差的扫描
2、量测集成包:大族激光是**家使用量测集成包的公司,能够以一种简单方便的方式创建一个快速的量测方案
3、光学系绞使用自主先进的大视野显微镜,配有高级照明系统和即时聚焦技?/span>
4、缺陷查找:使用先进的智能缺陷算法以克服制程工艺带来的变弁/span>
5、直线高精电机,XYZ平台, 100纳米分辨玆/span>
6、机械结?00纳米精度
7、洁净化设 (运动平台在晶圆下?
8、浮式基座平台减小设备震动影哌/span>
主要参数:

加工效果9/span>

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