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主要特点9/span>
设备特点9/span>
1、全自动兼容8inch?2inch片生产,带条码自动扫描系绞/span>
2、配合特殊剥离涂层,有效减少材料损伤,良品率髗/span>
3、采用先进的光斑整形技术,光斑均匀分布
4、拥有光斑质量监控与反馈系统,保证光斑的稳定?/span>
5、携带激光加工能量监控与自动补偿系统,保证能量的稳定?/span>
主要参数:
| 主要参数 | 加工尺寸 | 8inch?2inch |
| 加工速度 | 1000mm/s | |
| 加工精度 | ±1μm | |
| 平台参数 | 行程300mm×300mm 重复定位精度±0.001mm |
|
| 激光器参数 | 紫外 | |
| 稼动玆/td> | >0.98 | |
| 重大故障间隙时间 | ?000H | |
| 良率 | ?9.5% |
加工效果9/span>

暂无数据
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