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多孔?石墨
通常用于Sic晶体生长以减少晶体缺陷、/p>
高孔隙均匀性、/p>
优化气体传输，提高晶体生长速度、/p>
集中孔径分布、/p>
总杂质少? ppm (GDMS)、/p>
可以涂上TaC以提高抗硅腐蚀的能劚/p>
也可用于高温下的?气相分离/气体分配、/p>
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移动?/p>
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