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卧式退火炉设备可应用于集成电路、分立器件 POWER MEMS等多种领域,适用?-8英寸晶圆芯片的氧化、扩散、GPP、退火、合金等工艺、/p>
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性价毓/p>
自立?吋快速退火炉(RTP-3-08系列)
流动悬浮烘干焙烧装置
碳化钽涂层CVD炈/p>
中频感应炈/p>
烧结炈/p>