非金属电热元件：
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温控精度９/p>-
最高温度：
-额定温度９/p>-
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设备性能指标 |
||
1 |
操作方式 |
手动 |
2 |
管路?/p> |
1箠/p> |
3 |
加工晶圆尺寸 |
4-6寷/p> |
4 |
适用工艺 |
VGF/VB 工艺 |
5 |
控温精度 |
±0.2??280℃恒温区冄/p> |
6 |
控温模式 |
Spike控温+Profile串级控温 |
7 |
控制系统结构 |
一体工控机+PLC |
8 |
报警保护: |
具有超温报警，断偶报警，气体互锁，气体缓启动等功胼/p> |
暂无数据
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