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按照金刚石的种类区分:
人造金刚石大致可以分为单晶金刚石、聚晶金刚石和纳米金刚石,因此金刚石研磨液也可以分为单晶金刚石研磨液、聚晶金刚石研磨液和纳米金刚石研磨液、/span>
按照分散介质区分:
广泛使用的金刚石研磨液的分散介质有以下三种:水性分散介质、油性分散介质和通用型介质(乳液型介质)。使用时应当根据具体的使用条件来选择合适的研磨液、/span>
配合蜂窝垫使用,应用于碳化硅晶圆、蓝宝石、氧化锆、氧化铝、氮化铝陶瓷基板等硬脆材料超表面精细研磨、/span>
磨料类型多样化,可根据加工材料工艺要求选择合适粒度规格;
载体类型选择多,包含水性、油性及乳化型;
不同应用环境下粘度可调整,包含低粘度、中等粘度和高粘度;
| 材料去除玆br style="box-sizing: border-box;"/>金刚石液D50 | 碳化硄br style="box-sizing: border-box;"/>晶圆 | 蓝宝矲br style="box-sizing: border-box;"/>C吐/span> | 氧化锅br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷 | 氧化铜br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷 | 氮化铜br style="box-sizing: border-box;"/>陶瓷 | 氧化硄/span> |
| ZW-301(3μm) | 2 | 2.5 | 3.5 | 4 | 3 | 3 |
| ZW-302(2μm) | 1.5 | 1.6 | 3 | 3 | 2.5 | 2.3 |
| ZW-303(1.5μm) | 1 | 1.2 | 2 | 2.5 | 2 | 1.5 |
| ZW-401(1μm) | 0.8 | 1 | 1.2 | |||
| ZW-501(0.5μm) | 0.4 | 0.5 | 0.8 | |||
| ZW-601(0.2μm) | 0.2 | 0.3 | ||||
| ZW-40 | 2.5 |
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