参考价栻/p>面议
型号
全自?2寸晶圆抛光机品牌
江苏元夫产地
江苏样本
暂无磨抛盘直径：
-主轴转速：
-单位能耗：
-装机功率（kw）：
-成品细度９/p>-
工作原理９/p>其他
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全自?2寸晶圆抛光机
为应对当前高端集成电路制造国产化趋势，研发出12吋全自动高产能CMP(化学机械研磨)设备，满足客户多种工艺应用场景需求、提供整体解决方案，**化地降低客户设备运维成本、提高单位面?单位时间的产出率、/p>
设备特点
多线程跑货，高WPH
模块化布局，分区维抣/p>
自主研发多分区研磨头
干进干出，马兰戈尼提拉干?/p>
搭配在线量测IM，实现APC
高速响应、高精度Endpoint技?/p>
用于Oxide/Si/STI/W/Cu/Poly等CMP制程
可支持天车系统，实现全自动派?/p>
适配全工业化生产系统MES/RMS/FDC/PMS筈/p>
具备自主知识产权创新技?/p>
标准机台尺寸：长5.7m*?.8m*?.7m
暂无数据
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移动?/p>
工商已核宝/p>
