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处理速度?超高圆度;孔壁光滑;边缘平整、光滑、无毛刺;陡峭的侧?高锥?;
显著降低碳化.
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CVD 真空化学气相沉积设备
XRD系列晶向定位
电子束光刻机
红外气体传感 Gasboard-2060
等离子化学气相沉积系?PECVD