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明场光学缺陷检测设备——BriteSD 300品牌
睿励科学产地
上海样本
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明场光学缺陷检测设备——BriteSD 300
BriteSD系列是睿励科学仪?上海)有限公司?023?*推出的明场光学图形晶圆缺陷检测设备、/span>
该系列适用于集成电路制造、化合物半导体等领域的缺陷检测，
可检测缺陷类垊颗粒、污染、图形缺少、划伤、图形黏连、残留等，具备晶圆全表面检测?/span>
自动缺陷分类以及高分辨率的缺陷复查功能，运用睿励自主开发的先进光学系统和多种独特的算法
，可以应用于检测更小的缺陷、/span>
主要特点９/span>
l 支持8/12吋wafer
l 明场检浊/span>
l 支持硅片、SiC片检浊/span>
l 支持Auto Review 功能
l 可多组倍镜切换:1X?X?X?0X?0X
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移动?/p>
工商已核宝/p>
