Fastmicro晶圆表面颗粒物快速检测系统（PDS)

Fastmicro 晶圆表面颗粒物快速检测系统，专为各行业产品表面颗粒污染物直接测量而设计，主要应用于半导体领域的晶圆、薄膜及光罩检测，也可用于显示市场等基板检测。该系统配备 4-12 英寸视场（FOV）扫描区域，支持上下表面检测。其独特光学设计使产品在计量过程中无需移动即可完成检测。该系统可根据不同生产工艺需求进行定制，或直接集成至产线、�/p>

生产过程中的一致性测野�/span>

快逞�能在数秒内完成大面积成像

定量:适用于生产与研发环境的验证与监测

操作简侾�不受操作人员影响，自动化，洁净抓取方式

精准:高分辨率测量（数量、位置、尺寸）

一致�?每次测量都保持客观、稳宙�/span>

高通量:能在工艺时间窗口内得出结枛�/span>

FM-PDS: 直接检测表面颗粑�/span>

该系统可为晶圆制造工艺、下一代化合物半导体以及先进封装应用，提供高通量的表面颗粒污染检测服务�?nbsp;

该系统对粒径大于 0.1&μm的颗粒具有高灵敏度，是一种高效且提供全方位服务的选择、�/span>

它能以手动或自动的操作方式，以及较低的维护成本，取代传统的颗粒检测系统�?nbsp;

对于下一代半导体生产应用� PDS 系统具备独特的属性：双面�?nbsp;时扫描（选配）；

静态视场扫描（在图像采集过程中无需移动产品）、�/span>

多功能模块化平台

� � � � 制，� � � � � � � � � � 程，� � � � � � 。其 � �?nbsp;包括手动或自动晶圆抓取移动设备、用于检测和清洁的封装开�?nbsp;设备、填充设备、机械臂、检测单元以及清洁设备�?nbsp;

该系统可根据需要客户需求进行定制和扩展。测量模块也可为�?nbsp;统集成商和原始设备制造商（OEM）提供贴牌服务、�/span>