压电变频能量转换器:
根据客户需求定刵/span>超声功率9/p>根据客户需求定刵/span>
处理容量(L):
根据客户需求定刵/span>温度范围9/p>根据客户需求定刵/span>
定时器范围:
根据客户需求定刵/span>适用物料9/p>根据客户需求定刵/span>
功率(kw):
根据客户需求定刵/span>重量(kg):
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石英舟清洗机是为半导体、光伏、光纤通信等行业设计的专用清洗设备,主要用于去除石英舟在高温工艺(如CVD、扩散、氧化)中积累的杂质、颗粒、金属残留及有机物污染。该设备通过高效清洗和干燥技术,确保石英舟的表面洁净度达到纳米级工艺要求,避免交叉污染,延长石英舟使用寿命,同时保障下游工艺的稳定性和良品率、/p>
精准清洗工艺
多槽式清洗系统:采用酸洗、碱洗、水洗、超纯水冲洗等多槽分段设计,可针对不同污染物(如金属氧化物、有机膜、微粒)选择**清洗方案、/p>
喷淋与超声波结合:通过高压喷淋实现表面均匀冲刷,配合超声波空化效应清除顽固附着物,清洗效率提升30%以上、/p>
温度与浓度可控:清洗液温度、酸碱浓度实时监控并自动调节,避免因参数波动导致石英舟腐蚀或清洗不彻底、/p>
高效干燥技?/p>
热风循环干燥:内置恒温热风系统,快速烘干残留水渍,防止水痕污染、/p>
无尘环境设计:干燥腔体配备HEPA过滤器,杜绝外部颗粒污染,确保石英舟表面洁净度达到Class 10标准、/p>
智能化控制系绞/p>
人机交互界面?英寸触摸屏预设多种清洗程序(如标准清洗、重金属去除、有机物剥离),支持自定义参数保存、/p>
数据追溯功能:记录每次清洗的时间、温度、液位等数据,便于工艺优化和质量管控、/p>
故障自检与报警:实时监测液位不足、温度异常、泵体堵塞等问题,并通过声光警报提示操作人员、/p>
兼容性强:适用于各种规格石英舟(如船型、槽型),可定制夹具适配不同尺寸、/p>
安全环保:酸碱槽体采用PP/PVDF材质,耐化学腐蚀;废液回收系统实现封闭式排放,减少危废处理成本、/p>
低耗节能:水循环系统重复利用清洗液,热风干燥采用热泵技术,较传统烘箱节?0%、/p>
长寿命设计:核心部件(如超声波振子、泵体)选用耐腐蚀材料,设备无故障运行时间?000小时、/p>
半导体领域:清洗扩散炉、CVD设备中使用的石英舟,去除硅片残留的磷、硼液及工艺薄膜、/p>
光伏行业:清理多晶硅长晶炉石英舟表面的石墨残留和挥发物,提升电池片光电转换效率、/p>
科研实验:用于高校、研究所的高温实验设备石英部件清洗,满足高精度分析需求、/p>
暂无数据
石英舟清洗机的工作原理介绍?
石英舟清洗机的使用方法?
石英舟清洗机多少钱一台?
石英舟清洗机使用的注意事顸/li>
石英舟清洗机的说明书有吗>/li>
石英舟清洗机的操作规程有吗?
石英舟清洗机的报价含票含运费吗?
石英舟清洗机有现货吗>/li>
石英舟清洗机包安装吗>/li>
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