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9N系列纯化?/span>品牌
柯林?/span>产地
江苏样本
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9N系列纯化?/p>
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柯林斯空气净化科技有限公司生产的高?超高压系列纯化产品采用国际先进的催化?吸附剂和吸气?Getter)技术，可用于纯化大宗气?N?Ar,He,H? 0?CO₂等),气体流量?0Nm3/h?0000Nm3/h, 压力范围?6MPa ?4MPa, 纯化 气体中H₂O、O₂、CO、CO₂、CH4等分项杂质含量小?ppb 该系列纯化设备可应用于超高纯气体生产、标准气体和电子混合气的平衡气纯化等、/p>
典型应用
芯片半导体 LED、激光、光纤行业、集成电路产丙/p>
工艺介绍
1、气体通过高温催化氧化工序将气体的N2和CH4等杂质还原成H20 和CO2
2、吸附柱吸附饱和后可加热再生、反复使用、/p>
3 、气体通过多级物理吸附，常温催化工序，深度脱除气体中的0₂、H₂O、CO₂、CO、H2等杂 、/p>
纯化指标?/strong>
气体类别 |
可纯化气佒/p> |
去除杂质 |
纯化指标 |
D-惰性气佒/p> |
N2、Ar、He、Ne、Kr |
H₂O?₂、CO、CO₂、H₂、THC |
<1ppb |
Y-氧气 |
O₁/p> |
H₂O?₂、CO、CO₂、THC |
|
Q-氢气 |
H₁/p> |
H??₂、CO、CO₂、THC |
*表中只列出典型的和常见的气体，更多可纯化气体请与柯林斯联糺/p>
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