参考价栻/p>面议
型号
ASP-1300高精度四轴单面抛光设夆/span>品牌
奥美智能产地
河南样本
暂无磨抛盘直径:
-主轴转速:
90单位能耗:
-装机功率(kw):
-成品细度9/p>-
工作原理9/p>其他
虚拟号将 180 秒后失效
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产品简今/p>
该系列设备是高精度四轴单面抛光设备,可选配铜盘、锡盘、不锈钢盘等,适用于多种半导体材料的高精密抛光,满足大批量产业化需求、/p>
特点
◎/span> 强大的结枃br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>- 4 工位独立气缸加压,对所?个工位进行精确的压力控制
-C型铸造主框架
◎/span> 自动陶瓷盘定位系绞br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>- 侧定位块气缸,配合中心定位装?br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>◎/span> 优化的操作软仵br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>- 5步骤控制压力、转速和时间参数,循环阶段阶梯式压力控制
◎/span> 冷却系统:大盘和压力松br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>- 提供**的DMP/CMP温度条件
- 运行时保持压板的平坦状态,确保产品高精度的TTV
◎/span> DMP车刀装置
- 自修自面,确保良好的盘面平面?br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>- 优秀的直线丝杠导?br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>◎/span> CMP抛光垫清洗装?br style="margin: 0px; padding: 0px; border: 0px; outline: none; box-sizing: border-box;"/>- 确保抛光垫保?*的CMP条件
规格
暂无数据