磨抛盘直径:
6英寸主轴转速:
-单位能耗:
-装机功率(kw):
-成品细度9/p>2微米
工作原理9/p>其他
虚拟号将180秒后失效
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加工精度高,TTV? um,RA:≤0.1 nm
适用6寸以下及各类异形晶圆加工
具备盘型蓝牙监控并自动修复功胼/span>
夹具压力精度达到2g/cm²,可订制加压模块
效率高,支持*多四工位同时加工
可编辑可存储至少100条工艺程庎/span>
具备盘温监控、自动冷却等温度控制功能
研磨抛光一体机,操作便捷,兼容性强?/span>
暂无数据